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[PDF] Ch 6: Lithography。

曝光. Exposure. 顯影. Development. 紫外光. 負光阻. 基片. 正光阻. 基片. 光阻. 微影製程(Lithography). 基片(Substrate). 基片. 光阻. (PR, Photoresist). 光阻塗佈.： 。

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2018年6月24日 · 半导体行业观察：在这里我们整理一些常用的半导体术语的中英文版本，希望对大家有所帮助。

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[PDF] 晶圓的處理－ 微影成像與蝕刻。

（photolithography）步驟. 塗敷光阻劑. 溶解度會隨曝光程度改變. 曝光. 改變光阻劑溶解度. 顯影. 去除溶解度較高的光阻劑. 蝕刻. 移除未被光阻劑覆蓋的. 晶圓外膜.： 。

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